机组型号

泵型号

抽气
速率
(L/s)

极限压力

进气
口径
(mm)

排气
口径
(mm)

电机功率

主泵

前泵级

主泵

前泵级

Ⅰ

Ⅱ

pa

Torr

Ⅰ

Ⅱ

JZP2X30-4

ZJP-30

2X-8

30

2×10^-2

1.5×10^-4

50

40

0.75

1.1

JZP2X70-4

ZJP-70

2X-15

70

2×10^-2

1.5×10^-4

80

50

1.1

2.2

JZP2X150-5

ZJP-150

2X-30

150

2×10^-2

1.5×10^-4

100

40

2.2

4

JZP2X300-10

ZJP-300

2X-30

300

2×10^-2

1.5×10^-4

150

40

4

4

JZP2X300-4

ZJP-300

2X-70

300

2×10^-2

1.5×10^-4

150

65

4

7.5

JZPH300-2

ZJP-300

H-150

300

1×10^-1

7.5×10^-4

150

80

4

15

JZPH600-4

ZJP-600

H-150

600

1×10^-1

7.5×10^-4

200

80

7.5

15

JZP2X600-8

ZJP-600

2X-70

600

2×10^-2

1.5×10^-4

200

65

7.5

7.5

JZPX600-44

ZJP-600

ZJP-150

2X-30

600

1×10^-2

7.5×10^-5

200

40

7.5

2.2

3

JZP2X600-42

ZJP-600

ZJP-150

2X-70

600

1×10^-2

7.5×10^-5

200

65

7.5

2.2

5.5

JZPH1200-8

ZJP-1200

H-150

1200

1×10^-1

7.5×10^-4

250

80

15

15

JZP2X1200-44

ZJP-1200

ZJP-300

2X-70

1200

1×10^-2

7.5×10^-5

250

65

15

4

5.5

JZPH1200-42

ZJP-1200

ZJP-300

H-150

1200

2×10^-2

1.5×10^-4

250

80

15

4

15