分子泵
应用领域
工业检漏、PVD、CVD、离子注入、真空电子元器件制造、光学镀膜、半导体、太阳能电池、真空炉等
技术指标
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型号 |
FF40/25 |
FF63/80 |
F100/150 |
FF160/600 |
FF200/1200 |
FF250//1500 |
FF400/3600 |
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抽速（L/s） |
25 |
80 |
150 |
600 |
1200 |
1500 |
3600 |
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进气口法兰 |
KF25 |
LF63 |
LF100 |
LF160 |
LF200 |
LF250 |
LF400 |
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CF63 |
CF100 |
CF160 |
CF200 |
CF250 |
|||
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排气口法兰 |
KF16 |
KF16 |
KF25 |
KF40 |
KF40 |
KF50 |
LF100 |
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极限压强（pa） |
≦10-4 |
≦3X10-4 |
≦6X10-6 |
≦6X10-6 |
≦6X10-6 |
≦6X10-6 |
≦6X10-6 |
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≦5X10-7 |
≦6X10-7 |
≦6X10-8 |
≦6X10-8 |
≦6X10-8 |
|||
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启动压强（pa） |
≦50 |
≦50 |
≦10 |
≦10 |
≦10 |
≦10 |
≦10 |
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冷却方式 |
风冷 |
风冷 |
风冷 |
风冷/水冷 |
水冷 |
水冷 |
水冷 |
